Analyse Élémentaire des Solides par Spectrométrie Optique à Décharge Luminescente : Analyse Qualitative et Quantitative de Couches Minces - Analyse Quantitative en Volume
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Le programme
Spectroscopie : émission optique, sources diverses, caractéristiques de la source à décharge luminescente.
Examen de divers matériaux simple couche ou multicouches (conducteurs et isolants).
Analyse élémentaire de couches minces : caractéristiques de l'érosion par décharge luminescente, profil d'éléments en fonction de la profondeur, sources d'incertitudes, analyse quantitative.
Domaines d'application de la SDL : situation par rapport aux autres techniques d'analyse.
Trois demi-journées sont consacrées aux essais sur appareil.
Analyse Élémentaire des Solides par Spectrométrie Optique à Décharge Luminescente : Analyse Qualitative et Quantitative de Couches Minces - Analyse Quantitative en Volume
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