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Mécanismes et croissances des couches minces

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À Montpellier ()

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Description

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    Formation

Missions, moyens et organisation
Le Cnam est placé sous la présidence de Jean-Paul Herteman, P-DG du groupe Safran, et dirigé par Olivier Faron.
Il remplit trois missions principales:
la formation professionnelle supérieure tout au long de la vie,
la recherche technologique et l'innovation,
la diffusion de la culture scientifique et technique.
Le Cnam offre des formations développées en étroite collaboration avec les entreprises et les organisations professionnelles afin de répondre au mieux à leurs besoins et à ceux de leurs salariés.

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Le programme

Programme
  • Présentation comparative des différentes techniques de croissance sous vide de films minces (pulvérisation, évaporation, CVD).

  • Rappel concernant la théorie cinétique des gaz : notion de pression, distribution de type Maxwell-Boltzmann, libre parcours-moyen, flux de particules sur une surface.

  • Interaction ions-surface : ralentissement des ions dans un solide, cascade de collisions, collision binaire, notion de taux de pulvérisation, énergie seuil de pulvérisation.

  • Notions sur les plasmas de décharge basse pression : définitions, grandeurs, interface plasma-paroi, les différents types de décharge, caractérisation d’un plasma (cours et TP).

  • Mécanismes de croissance : description des modes de croissance et exemples de structuration (cours et TP).

  • Systèmes de contrôle en temps réel : description des différentes techniques d'analyse du procédé (cours et TP).

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