Profilométrie et vibrométrie optique

Profilométrie optique interférométrique en lumière blanche
- principe de la microscopie interférométrique en lumière blanche et application à la profilométrie de surface : méthodes et paramètres de mesure, performances et limitations,
- application pratique à la mesure de rugosité de surface, de profils 3D de surfaces quasi continues et de déformations hors plan.

Profilométrie optique interférométrique en lumière monochrome
- principe de la microscopie interférométrique à balayage en lumière monochrome et application à la profilométrie de surface : méthodes et paramètres de mesure, performances et limitations, extension du champ de mesure par raccord de champs,
- application pratique à la mesure de profils 3D de surface, d'épaisseur de films transparents et de réflectivité spectrale.

Vibrométrie optique interférométrique
- mesures de vibrations hors plan par interférométrie moyennée dans le temps et par interférométrie stroboscopique en lumière monochrome ou blanche,
- mesure de vibrations dans le plan par microscopie stroboscopique et traitement d'images,
- mise en oeuvre et application pratique à la mesure de spectres et de modes de vibrations de microdispositifs.