Introduction aux microtechnologies et microsystèmes

Microtechnologies
Techniques générales

- méthodes de dépôt et de croissance de films minces,
- photolithographie,
- gravures chimiques et ioniques,
- soudure de substrat : procédés et caractérisation.

Microsystèmes, microcapteurs et micro actionneurs

- panorama des microsystèmes,
- détection et actionnement,
- déformations statiques des dispositifs micromécaniques et techniques de mesures,
- vibrations des dispositifs micromécaniques et techniques de mesures.

Microtechnologie-Microsystèmes : de la technologie au composant final

- procédés classiques de microusinage de surface et de volume ; application à la fabrication de dispositifs micromécaniques : gravure chimique anisotrope, couches sacrifiées, micromoulage…
- procédés avancés : gravure profonde, lithographies X et électroniques, lithographies et gravures 3D, gravure ionique profonde simple et multiniveaux, procédés laser, LIGA, stéréolithographie,
- conception et électronique des microsystèmes : étapes, logiciels, méthodes,
- packaging des microsystèmes.

Travaux pratiques

- lithographie de résines épaisses, croissance électrolytique, gravure chimique anisotrope,
- fabrication de dispositifs micromécaniques,
- simulations mécaniques par éléments finis de microdispositifs avec le logiciel ANSYS
- caractérisation statique et dynamique de dispositifs micromécaniques.