Couches Minces : Généralités Concernant la Croissance des Films

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Description

  • Typologie

    Formation

  • Dirigé à

    Pour professionnels

  • Lieu

    Paris

  • Heures de classe

    28h

Objectifs: Comprendre les mécanismes de croissance et les phénomènes physiques associés à l'élaboration des films minces. Destinataires: Niveaux I. II. III

Précisions importantes

Modalité Formation continue

Les sites et dates disponibles

Lieu

Date de début

Paris ((75) Paris)
Voir plan
19 Rue du Renard, 75004

Date de début

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Les Avis

Le programme

  • Présentation comparative des différentes techniques de croissance sous vide de films minces (pulvérisation, évaporation, CVD)
  • Rappel concernant la théorie cinétique des gaz : notion de pression, distribution de type Maxwell-Boltzmann, libre parcours moyen, flux de particules sur une surface.
  • Intéraction ions-surface : ralentissement des ions dans un solide, cascade de collisions, collision binaire, notion de taux de pulvérisation, énergie seuil de pulvérisation.
  • Mécanismes de croissance : description des différents modes de croissanceet exemples de structuration.
  • Contraintes mécaniques et adhérence de film sur une surface : définition des différents paramètres mécaniques des films, influence du mode de croissance sur la contrainte et l''adhérence, description des outils de diagnostics.
  • Systèmes de contrôle en temps réel : description des différentes techniques d''analyse du procédé

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