Analyse des surfaces, interfaces et couches minces

Contenu

Introduction sur la nature et les propriétés physico-chimiques des surfaces, interfaces et couches minces
Principes de base notions sur l'appareillage et applications des thèmes suivants
ANALYSE EN COMPOSITION
- Spectrométrie de décharge luminescente (SDL)
- Spectroscopies électroniques (AUGER, XPS)
- Spectroscopie de masse d'ions secondaires (SIMS)
- Spectrométrie de rétrodiffusion de Rutherford (RBS)
ANALYSE STRUCTURALE ET MICROSTRUCTURALE
- Microscopie électronique à balayage (MEB) et microscopies à effet tunnel (STM) et à force atomique (AFM)
- Diffraction des électrons de faible énergie (LEED)
CARACTERISATION DIMENSIONNELLE
- Ellipsométrie
- Interférométrie
- Spectrométrie X
- Profilométrie
Mise en situation : Résolution d'un problème d'analyse à l'aide des différentes techniques étudiées.

Modalité d'évaluation

Obtenir une note au moins égale à 10/20 à l'examen final
2 sessions d'examen