ANALYSE DE GAZ RESIDUELS ET SPECTROMETRIE DE MASSE

1. LE DEGAZAGE
Définition Phénomènes physico-chimiques liés au dégazage
Les effets du dégazage
Dégazage thermique
Matériaux métalliques non étuvés
Matériaux métalliques étuvés Matériaux non métalliques (Estomères ; céramiques, etc…)
Dégazage induit

2. LA SPECTROMETRIE DE MASSE
Théorie de la spectrométrie de masse
Les différents types de spectrométrie de masse
Principes de fonctionnement d’un analyseur de gaz résiduel (RGA)
Unités fonctionnelles d’un spectromètre de masse
Interprétation du spectre d’un gaz résiduel
Etuvage d’un RGA : précautions Equipements existants et leur comparaison Limite d’utilisation d’un RGA
3. APPLICATIONS
L’humidité
La contamination organique
Analyse de spectres
La Désorption Thermique Programmée (TPD)