Gravure des Matériaux par Plasma
Formation
À Nantes
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Description
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Typologie
Formation
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Dirigé à
Pour professionnels
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Lieu
Nantes
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Heures de classe
14h
Objectifs: La gravure des matériaux en couches minces par plasma est devenue une étape incontournable dans la fabrication de structures en micro ou nanotechnologies. Ce stage a pour objectif de donner aux participants une bonne compréhension de la gravure par plasma (principe, mécanismes) afin d'acquérir la maîtrise du procédé. Destinataires: Ce stage de 2 jours est destiné aux techniciens, ingénieurs ou chercheurs qui souhaitent approfondir leurs connaissances dans ce domaine.
Précisions importantes
Modalité Formation continue
Les sites et dates disponibles
Lieu
Date de début
Date de début
Les Avis
Le programme
Le cours théorique et les discussions autour des résultats expérimentaux et des problèmes de transfert de motifs occuperont la moitié du stage. L'autre moitié du temps sera consacrée aux travaux pratiques.
Cours :
Travaux pratiques :
- Les notions vues en cours seront mises en pratique par des manips de gravure SiO2/Si dans un réacteur à couplage inductif (ICP).
- Cet exemple permettra au stagiaire d''aborder de façon concrète un grand nombre de notions générales sur la gravure.
- A l'aide de diagnostics de surface et de diagnostics plasmas, nous essaierons de mieux appréhender l'influence des paramètres machine (pression, puissance...) sur la gravure.
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