Le dégazage et son traitement. Technologies de l'ultravide

Ce cours définit les phénomènes rencontrés en "vide poussé et en ultravide".
On montrera comment il est possible de diminuer le dégazage et obtenir des pressions largement inférieures à 10-6 Pa (10-8 mbar), même sur de très grandes installations.

Les techniques mises en œuvre pour l'ultravide peuvent être avantageusement appliquées dans des vides nettement moins poussés dans un souci d'économie pour l'investissement et la maintenance.

• Phénomènes rencontrés en vide poussé
• Libre parcours moyen
• Temps de séjour
• Désorption
• Pollution...
• Notion d''interface gaz-métal, absorption et difusion de l''hydrogène
• Le matériel utilisé : pompes, joints, brides...
• Les bâtis ultravide
• Technologies des enceintes : traitement et conditionnement (nettoyage, étuvage, décharge luminescente)
• La mesure
• Discussions sur quelques cas classiques